超精密Micor系列显微线扫相机

产品尺寸：199.1H * 135D * 205Wmm

有效宽度：6,14,28mm

清 晰 度：9600/dpi

像素大小：0.66um/1.32um/2.65um

线扫速率：3.57kHz

焦距范围：±0.1mm 

工作距离：52.4/70.2mm

数据接口：USB3.0

主要应用：晶圆表面， 太阳能电池板，硅晶片等